بهرهگيري از تخصص هستهاي براي تسلط بر كاشت يون پرانرژي
براي سالها، چين كاملا به ايمپلنترهاي يون هيدروژن پرانرژي وارداتي وابسته بود و با محدوديتهاي فناورانه خارجي و انحصارهاي بازار كه توسعه داخلي را محدود ميكرد، مواجه بود. با تكيه بر دههها تجربه در فيزيك هستهاي و فناوري شتابدهنده، اين موسسه اكنون روشهاي شتابدهندهاي براي دستيابي به توانايي طراحي كاملا مستقل توسعه داده است.
براي سالها، چين كاملا به ايمپلنترهاي يون هيدروژن پرانرژي وارداتي وابسته بود و با محدوديتهاي فناورانه خارجي و انحصارهاي بازار كه توسعه داخلي را محدود ميكرد، مواجه بود. با تكيه بر دههها تجربه در فيزيك هستهاي و فناوري شتابدهنده، اين موسسه اكنون روشهاي شتابدهندهاي براي دستيابي به توانايي طراحي كاملا مستقل توسعه داده است. اين پيشرفت هر مرحله را، از اصول بنيادي تا يكپارچهسازي كامل سيستم پوشش ميدهد و چين را براي توليد ايمپلنترهاي يون هيدروژن پرانرژي نوع تاندِم بهصورت داخلي توانمند ميسازد و باعث كاهش اتكا به تأمينكنندگان خارجي ميشود. كارشناسان ميگويند اين نشانه يك گام مهم در تقويت زيرساخت توليد نيمهرساناي كشور است. علاوه بر اين، دستيابي به توسعه بومي اين ايمپلنترهاي يون پرانرژي نشانه يك تقويت بزرگ براي خوداتكايي نيمهرساناي چين، تقويت توانايي كشور براي توليد اجزاي حياتي بدون وابستگي به فناوري خارجي است. تسلط بر كاشت يون به يك اولويت راهبردي براي چين تبديل شده است، زيرا اين فناوري يكي از «چهار ابزار اصلي» در توليد نيمهرسانا در نظر گرفته ميشود. با اين حال، توسعه چنين تجهيزات پيشرفتهاي به غلبه بر چالشهاي فني قابلتوجه نياز داشت. توليد تراشه به دقت و پايداري فوقالعاده نياز دارد و براي ايمپلنترهاي يون، اين به معناي كنترل چندين پارامتر در مقياس نانومتر يا حتي اتمي است. دستيابي به اين سطح از كنترل براي توليد تراشههاي با كارايي بالا و كاهش اتكا به فناوري وارداتي حياتي است. در فرآيند كاشت، يونها ويژگيهاي الكتريكي نواحي خاصي در يك ويفر سيليكون را تغيير ميدهند. اگر پرتو يون ناپايدار باشد، عملكرد تراشه ميتواند آسيب ببيند و تجهيزات بايد بهطور قابلاعتماد در دورههاي طولاني براي برآورده كردن تقاضاهاي صنعتي مورد استفاده قرار گيرند.
